1、前言

        在半導和切合電路板新工藝中，的產品、晶圓、集成電路芯片的公測是必不能少的步驟。現在半導公測技術設備的經濟發展，阿拉伯大數字源表SMU切合電極臺的整體結構就已經被很廣運用于的產品/小元件的電學屬性安全驗證中。阿拉伯大數字源表SMU兼具源測職能，可能會產生交流電-直流電壓(I-V)屬性折線，是半導的產品、元件電功效表現測量方法的目標；電極臺有自動、半全智能和全全智能以下幾種，跟據公測必須要挑選匹配的的產品時要。在選擇時必須要還要注意電極的在質量甚至針尖的口徑與樣子，電極在質量不一，其抗阻只要不同；前者，電極尖輪胎磨損和破壞也會對公測最終結果可能會導致危害。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT接觸圖示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢驗探針臺與源表的接長見有2種，其中一種操作同基準面接，另其中一種操作三同基準面接。當衡量小電壓感應電流(nA、pA)時，應操作三同軸轉移接口和三同基準面纜。在連入源表庇護web端檢驗電源電路中，仍然三同軸的庇護層與內芯之間是等電勢，不有 漏電壓電打胎生，才可以升高小電壓感應電流檢驗表面粗糙度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣電阻；3內屏避層；4間層；5外屏避層；6外絕緣護套）

圖：三同水平線纜等效用電線路圖

  上圖所顯示為三同水平電纜線等效用電線路圖，內容輸出高級HI和Guard中的電位差差近乎為0，若想消失電纜線企業自身的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系直流電壓源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸鏈接器與平常兩芯鏈接器有所為各不相同，可并且接駁數據表現、接地裝置和屏避了層，屏避了功效好。和多芯電纜相對于，三同軸電纜成分比較簡單，信得過高；和兩芯同軸電纜相對于，具備著更高一些的屏避了效能和小數據表現的互傳意識。三同軸電纜的鏈接方法實用了GUARD數據表現，產生了屏避了效應，更有助于于小數據表現的自動測量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

運用杜邦線轉BNC母頭做接入；

- 三同軸連接 -

的使用三同軸呼叫轉移模組做聯系。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

會直接操作三同定位軸線參與拼接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將普通的的三同軸調整為進行高壓使用三同中線；直流高壓電三同軸接線頭的抗壓試驗工作能力比較強，普賽斯運行的直流高壓電三同軸接線頭可能抗壓試驗3500V。

圖：左-油田三同軸、右-高級三同軸

HCPL 100大電流源表

大感應交流電量測時，單根檢測器允許的感應交流電有限責任，感應交流電過大有可能會促使燒針想象，影響到測試軟件最終，為此應該動用多檢測器串并聯。

圖：多檢測器并接舉手

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面參比電極聯接提醒

圖：異面探針接觸圖示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。